中芯國(guó)際45納米工藝技術(shù)再獲重大進(jìn)展，繼與IBM簽定技術(shù)授權(quán)合作協(xié)議后，中芯45納米最重要武器浸潤(rùn)式微顯影(immersion lithography)設(shè)備在29日正式由上海浦東機(jī)場(chǎng)，移往中芯上海廠區(qū)Fab8，這也是中芯自有第1臺(tái)45納米工藝技術(shù)設(shè)備，預(yù)計(jì)最快2008年底進(jìn)入試產(chǎn)階段。另外，由中芯所代管武漢新芯，之前亦曾進(jìn)口這款浸潤(rùn)式微顯影機(jī)種。

中芯自有第1臺(tái)45納米浸潤(rùn)式微顯影機(jī)種，29日搭乘波音747國(guó)際貨運(yùn)包機(jī)直接運(yùn)抵上海浦東國(guó)際機(jī)場(chǎng)，整臺(tái)設(shè)備重達(dá)約40噸，體積逾160立方米，為進(jìn)行運(yùn)輸，約分裝29個(gè)溫控集裝箱，由于設(shè)備極度精密，享有超貴賓級(jí)待遇和紅地毯式全程護(hù)送，直接運(yùn)抵中芯上海廠區(qū)Fab8，全程中芯可說小心到家，并未對(duì)外公開。

目前全球供應(yīng)浸潤(rùn)式微顯影機(jī)種有3家廠商，分別是荷蘭ASML、日商佳能(Canon)及尼康(Nikon)，據(jù)了解，中芯自用機(jī)款與之前武漢新芯所進(jìn)口機(jī)種，都是向ASML采購(gòu)，價(jià)值不斐，由于浸潤(rùn)式微顯影機(jī)種是半導(dǎo)體工藝中最敏感的1道工藝技術(shù)，包括運(yùn)送、裝卸都必須相當(dāng)小心。

中芯則透露，上海12英寸廠Fab8中4條生產(chǎn)線首批產(chǎn)品仍將采用90納米工藝，但亦積極醞釀65、45納米芯片生產(chǎn)事宜，并計(jì)劃2008年底試產(chǎn)45納米芯片。中芯日前已宣布加入IBM 45納米工藝技術(shù)陣營(yíng)，技術(shù)來源已不成問題，加上最關(guān)鍵設(shè)備已到位，業(yè)界紛揣測(cè)中芯是為哪家客戶生產(chǎn)45納米芯片。此外，中芯總裁兼首席執(zhí)行長(zhǎng)張汝京亦承諾2009年6月將引進(jìn)浸潤(rùn)式光刻機(jī)，成為未來中芯量產(chǎn)45納米芯片有力保證。

目前在晶圓代工領(lǐng)域，45納米工藝技術(shù)仍以臺(tái)積電取得領(lǐng)先地位，面對(duì)競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手來勢(shì)洶洶，臺(tái)積電已率先以40納米工藝技術(shù)取代45納米，并配合完整設(shè)計(jì)流程8.0、9.0版本，協(xié)助客戶從設(shè)計(jì)快速進(jìn)入成功量產(chǎn)，盡管40納米已進(jìn)入量產(chǎn)，但最快2009年才會(huì)明顯放量，2008年還是以65納米工藝增長(zhǎng)最快，而包括聯(lián)電、新加坡特許(Chartered)等也緊追在后。

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